簡(jiǎn)介
Laurell WS-650系列旋涂?jī)x是一種多功能且廣泛使用的實(shí)驗(yàn)室儀器，設(shè)計(jì)用于通過旋涂方法在基板上均勻涂覆薄膜。本指南概述了其工作原理、獨(dú)特功能、標(biāo)準(zhǔn)操作程序以及常見問題的故障排除方法，包括“本地端口……失敗”故障信息。
工作原理及特點(diǎn)
1.1 工作原理
旋涂?jī)x利用離心力將液體溶液均勻鋪展在基板上。具體而言，Laurell WS-650系列配備有真空吸盤，可牢固固定基板，同時(shí)滴加液體溶液。旋轉(zhuǎn)時(shí)，多余的材料被甩出，從而在基板表面留下一層均勻的薄膜。
1.2 特點(diǎn)
速度范圍：可調(diào)旋轉(zhuǎn)速度高達(dá)12,000轉(zhuǎn)/分鐘（視型號(hào)而定）。
基板兼容性：支持直徑最大6英寸的基板或定制適配器用于碎片和玻片。
可編程性：650控制器允許用戶存儲(chǔ)多達(dá)20個(gè)多步驟工藝配方。
材料適應(yīng)性：提供EPDM或Viton密封圈，以兼容各種化學(xué)品。
安全特性：蓋聯(lián)鎖、真空聯(lián)鎖和排氣流量監(jiān)測(cè)確保安全操作。
標(biāo)準(zhǔn)操作程序
2.1 準(zhǔn)備
基板選擇：確保基板尺寸與所選真空吸盤兼容。
密封圈檢查：檢查密封圈是否損壞，確保其清潔并正確安裝在槽中。
真空檢查：激活真空并驗(yàn)證穩(wěn)定讀數(shù)約為25毫米汞柱。
化學(xué)品滴加：將化學(xué)品溶液均勻滴加到基板上。
2.2 運(yùn)行旋涂程序
選擇工藝：使用鍵盤選擇預(yù)編程工藝或創(chuàng)建新程序。
關(guān)閉蓋子：確保蓋子緊密關(guān)閉以啟動(dòng)安全聯(lián)鎖。
開始工藝：按“開始”鍵開始旋轉(zhuǎn)。監(jiān)控液晶顯示屏以獲取實(shí)時(shí)反饋。
完成：工藝結(jié)束后，等待“完成”消息后再取出基板。
清潔：遵循清潔指南，以避免設(shè)備受到污染或化學(xué)品損害。
2.3 維護(hù)提示
定期使用適當(dāng)?shù)娜軇┣鍧嵨P、密封圈和處理碗。
及時(shí)更換磨損或損壞的部件，以確保性能一致。
“本地端口……失敗”故障：分析及解決方案
3.1 故障含義
“本地端口……失敗”錯(cuò)誤通常表示旋涂?jī)x控制器與其內(nèi)部或外部通信端口之間存在通信問題?？赡艿脑虬ǎ?/p>
內(nèi)部通信電纜故障或斷開。
控制器硬件損壞或故障。
軟件或固件損壞。
外部干擾，如連接設(shè)備導(dǎo)致通信沖突。
3.2 故障排除步驟
電源循環(huán)：通過關(guān)閉系統(tǒng)并等待30秒后再重新打開來重啟系統(tǒng)。
檢查連接：
確保所有內(nèi)部電纜連接牢固。
如果連接了外部設(shè)備，請(qǐng)斷開它們并嘗試重啟。
固件重置：
通過鍵盤訪問控制器的重置選項(xiàng)。
如果錯(cuò)誤仍然存在，請(qǐng)參閱用戶手冊(cè)或聯(lián)系Laurell技術(shù)支持以獲取固件更新。
檢查控制器板：
（如經(jīng)過培訓(xùn)和授權(quán)）打開機(jī)箱檢查控制器板是否有可見損壞。
如有必要，更換損壞的組件。
聯(lián)系支持：如果問題未解決，請(qǐng)聯(lián)系Laurell技術(shù)支持進(jìn)行高級(jí)診斷。
其他常見故障及解決方案
4.1 真空相關(guān)問題
真空度低：確保基板完全覆蓋密封圈，并驗(yàn)證真空源是否正常工作。
真空泄漏：檢查密封圈并更換損壞的部件。檢查真空路徑中是否有污染物。
4.2 蓋子聯(lián)鎖錯(cuò)誤
確保蓋子完全關(guān)閉并與聯(lián)鎖傳感器正確對(duì)齊。
4.3 排氣流量故障
驗(yàn)證排氣流量是否滿足系統(tǒng)要求（請(qǐng)參閱手冊(cè)）。清除排氣路徑中的任何阻塞物。
4.4 電機(jī)過熱
如果熱保護(hù)被觸發(fā)，請(qǐng)?jiān)试S電機(jī)冷卻。驗(yàn)證系統(tǒng)周圍是否有良好的通風(fēng)。
4.5 程序錯(cuò)誤
如果程序出現(xiàn)意外行為，請(qǐng)編輯或重新創(chuàng)建工藝程序。確保為每個(gè)步驟設(shè)置有效的參數(shù)。
安全高效操作的最佳實(shí)踐
處理危險(xiǎn)化學(xué)品時(shí)始終佩戴適當(dāng)?shù)膫€(gè)人防護(hù)裝備（PPE）。
按照安全數(shù)據(jù)表（SDS）存儲(chǔ)和處理化學(xué)品。
遵循制造商推薦的維護(hù)計(jì)劃，以避免意外停機(jī)。
對(duì)所有操作人員進(jìn)行Laurell WS-650旋涂?jī)x的使用和維護(hù)方面的全面培訓(xùn)。
結(jié)論
Laurell WS-650系列旋涂?jī)x在正確操作和維護(hù)的情況下是一款堅(jiān)固可靠的工具。了解其原理、遵守操作程序并遵循推薦的故障排除步驟，將最大限度地提高其效率和使用壽命。對(duì)于持續(xù)或復(fù)雜的問題，Laurell的技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)隨時(shí)準(zhǔn)備協(xié)助用戶保持最佳性能。
